- 探針式電致發(fā)光檢測（EL）檢測準確度高，但效率極低，還會對芯片造成一定程度的損傷，幾乎不具備全檢可能性。
- AOI外觀缺陷檢測，只能對外觀缺陷進行檢測，無法對芯片表面以下的發(fā)光層、正極、負極等進行檢測，可識別缺陷類型有限。
- 光致發(fā)光檢測（PL）使用短波長激發(fā)LED的發(fā)光層產生發(fā)光圖像，具有非接觸式、速度快等優(yōu)點。但只能對發(fā)光層缺陷進行檢測，無法對芯片的正負電極進行驅動測試，檢測準確率無法滿足高良率的生產需求。
2024年，海目星攜手福州大學吳朝興教授團隊，開展復雜電磁環(huán)境中的“機械-電氣-發(fā)光-采集”功能模組的設計與整合，以及控制與光電采集信號的同步，成功研制晶圓級Micro LED芯片的非接觸電致發(fā)光檢測工程樣機FED-NCEL，突破產業(yè)化“最后一公里”。
紅光COC氮化鎵Micro LED芯片檢測
紅、綠、藍COW氮化鎵Micro LED芯片檢測
Micro LED作為下一代顯示的核心技術方向，其技術革新和產業(yè)化發(fā)展將重構顯示產業(yè)競爭格局，強化中國技術話語權。海目星身為新型顯示產業(yè)鏈上的領先企業(yè)，憑借卓越的實力和前瞻性的戰(zhàn)略眼光，不斷在全球賽道中搶占技術高地，推動產業(yè)轉型升級。
2024年7月，海目星與福州大學合資成立深圳海納半導體裝備有限公司，聚焦各類新型顯示及第三代半導體檢量測設備，為提升行業(yè)良率提供高速高精的解決方案，為業(yè)內客戶降本增效與規(guī)模化生產提供強大技術支撐。
今年4月，海目星與閩都創(chuàng)新實驗室正式成立“半導體檢量測裝備研發(fā)中心”。閩都創(chuàng)新實驗室是首批四家福建省創(chuàng)新實驗室之一，在光電信息領域的關鍵技術攻關與產業(yè)轉化領域有獨特優(yōu)勢。雙方的合作將進一步深化產學研融合，賦能半導體顯示產業(yè)創(chuàng)新發(fā)展。
